您所在的位置:首頁 > 行業(yè)解決方案 > 半導(dǎo)體 > 半導(dǎo)體及光伏行業(yè)上游高純石英砂中碳含量測試解決方案
一、高純石英砂,撐起產(chǎn)業(yè)一片天
在半導(dǎo)體領(lǐng)域,高純石英砂堪稱制造芯片的重要戰(zhàn)略性核心原材料。芯片制造的每一個環(huán)節(jié),從硅片制造時拉制單晶硅棒的石英坩堝,到晶圓制造過程中的石英玻璃擴(kuò)散管、石英舟等石英玻璃器具,再到芯片制造環(huán)節(jié)光刻、刻蝕和薄膜沉淀所使用的光掩膜基板等,都離不開高純石英砂的參與。其純度、包裹體含量、粒度等指標(biāo),直接關(guān)乎芯片的性能、穩(wěn)定性和良品率。
而在光伏行業(yè),高純石英砂同樣扮演著舉足輕重的角色。它主要用于制造直拉單晶硅所需的石英坩堝,石英坩堝作為盛裝熔融硅并制成后續(xù)工序所需晶棒的關(guān)鍵器具,是光伏產(chǎn)業(yè)不可或缺的重要支撐材料,也是硅材料生產(chǎn)的重要配套關(guān)鍵性耗材。隨著光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,對石英坩堝的尺寸、純度、拉晶時間和拉晶次數(shù)等方面都提出了更高的要求,高純石英砂的品質(zhì)和供應(yīng)穩(wěn)定性,直接影響著光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進(jìn)程。
但你知道嗎?在這看似完美的高純石英砂中,卻隱藏著一個可能影響其性能的關(guān)鍵因素 —— 碳含量。碳,這個看似普通的元素,在高純石英砂中卻可能引發(fā)一系列 “蝴蝶效應(yīng)”,對下游產(chǎn)品的質(zhì)量產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響。
二、碳雜質(zhì),隱藏在砂中的 “破壞者”
作為制備石英坩堝的主要原料,高純石英砂的純度直接關(guān)乎石英坩堝的質(zhì)量。而碳,作為一種常見的雜質(zhì),若在高純石英砂中含量過高,將會對石英坩堝在高溫等條件下的化學(xué)穩(wěn)定性產(chǎn)生負(fù)面影響,甚至可能導(dǎo)致其在使用過程中與被熔煉物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),進(jìn)而污染被熔煉物。
碳對石英砂主要產(chǎn)品石英坩堝質(zhì)量的影響是多維度的。在耐高溫性能方面,碳可與石英坩堝中的雜質(zhì) “聯(lián)手”,形成低熔點化合物,致使坩堝的耐高溫性能大打折扣,在高溫環(huán)境下更容易出現(xiàn)軟化、變形等問題。同時,在高溫下,碳若與氧氣發(fā)生反應(yīng),生成一氧化碳或二氧化碳?xì)怏w,會在坩堝內(nèi)部 “制造” 氣孔或缺陷,不僅降低其結(jié)構(gòu)強(qiáng)度,還會加速坩堝的損壞。
從熱性能角度而言,碳的熱導(dǎo)率與二氧化硅存在差異,因此碳含量的變化會改變石英坩堝的熱導(dǎo)率等熱性能參數(shù)。這將導(dǎo)致坩堝在加熱和冷卻過程中溫度分布不均,產(chǎn)生熱應(yīng)力。當(dāng)熱應(yīng)力積累到一定程度,坩堝便可能出現(xiàn)裂紋,不僅縮短其使用壽命,還可能對被熔煉物質(zhì)的加熱效果和質(zhì)量產(chǎn)生不利影響。
若石英坩堝用于對光學(xué)性能要求較高的光學(xué)材料熔煉等領(lǐng)域,碳含量過高還會在坩堝壁上形成黑色或深色雜質(zhì)區(qū)域,影響光的透過和散射等,對后續(xù)光學(xué)材料的加工和性能產(chǎn)生不良影響。
在半導(dǎo)體制造中,芯片的生產(chǎn)對環(huán)境的純凈度要求極高。若石英坩堝中的碳含量超標(biāo),在拉晶過程中,碳雜質(zhì)可能會進(jìn)入硅晶體,影響其電學(xué)性能,導(dǎo)致芯片的性能不穩(wěn)定,甚至出現(xiàn)廢品。而在光伏領(lǐng)域,碳雜質(zhì)的存在可能降低光伏電池的轉(zhuǎn)換效率,增加生產(chǎn)成本,影響整個光伏產(chǎn)業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。
三、耶拿方案,精準(zhǔn)鎖定碳含量
面對碳含量這一關(guān)鍵挑戰(zhàn),德國耶拿憑借其深厚的技術(shù)積累和創(chuàng)新精神,為我們帶來了可靠的解決方案。
multi N/C 3300 總碳分析儀
耶拿 multi N/C 3300 總碳分析儀,無疑是檢測領(lǐng)域的一把 “利器”。它基于燃燒法原理,能夠全自動直接進(jìn)樣測定液體樣品中的總碳、總有機(jī)碳、總無機(jī)碳等參數(shù),功能十分強(qiáng)大。當(dāng)搭配上 HT1300 固體模塊以及用于固體自動進(jìn)樣的 FPG 48 固體舟自動進(jìn)樣器時,更是如虎添翼,可實現(xiàn)固體樣品直接進(jìn)樣測試總碳含量。這一過程無需添加催化劑,也無需對樣品進(jìn)行繁瑣的包裹處理,方便快捷,大大提高了檢測效率。而且,其結(jié)果準(zhǔn)確可靠,為我們提供了值得信賴的數(shù)據(jù)支持。
方案的硬件組成如下圖所示:
在實際操作中,通過固體舟自動進(jìn)樣器將計量好的石英砂連同陶瓷舟一起送入燃燒爐,進(jìn)入燃燒爐的樣品實現(xiàn)無催化劑燃燒。燃燒產(chǎn)生的氣體,經(jīng)凈化進(jìn)入主機(jī)內(nèi)的碳檢測器,最終輸出精準(zhǔn)的碳含量數(shù)據(jù)。
multi EA4000 元素分析儀
再看耶拿 multi EA4000 元素分析儀,同樣基于燃燒法原理,它可以全自動直接進(jìn)樣測定固體樣品中總碳含量,并可拓展用于總硫及總氯參數(shù)的測定。無需添加催化劑,無需對樣品進(jìn)行包裹處理,操作簡單方便。它主要由用于固體自動進(jìn)樣的 FPG 48 固體舟自動進(jìn)樣器、用于樣品燃燒消解的 EA4000 燃燒爐系統(tǒng)、用于碳含量檢測的檢測器模塊構(gòu)成。通過固體舟自動進(jìn)樣器將樣品送入燃燒爐,實現(xiàn)無催化劑燃燒,燃燒產(chǎn)生的氣體經(jīng)凈化進(jìn)入碳檢測器,從而得出碳含量結(jié)果。
方案的硬件組成如下圖所示:
這兩款分析儀在實際應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以高純石英砂樣品測試為例,使用相應(yīng)的分析儀搭配 FPG 48 固體自動進(jìn)樣器進(jìn)行測試,測試時由自動進(jìn)樣器將樣品和陶瓷舟自動送入燃燒爐燃燒和氣化,生成對應(yīng)的產(chǎn)物,最終由相應(yīng)的檢測器檢測。在測試過程中,碳含量測試采用碳酸鈣作為標(biāo)樣,稱取不同重量的碳酸鈣繪制標(biāo)準(zhǔn)曲線,相關(guān)系數(shù)良好,確保了測試的準(zhǔn)確性和可靠性。
從實際測試結(jié)果來看,耶拿的這兩款分析儀能夠精準(zhǔn)地檢測出高純石英砂中的碳含量,為生產(chǎn)企業(yè)提供了有力的質(zhì)量控制依據(jù)。在半導(dǎo)體及光伏行業(yè),這樣的精準(zhǔn)檢測對于保證產(chǎn)品質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率具有至關(guān)重要的意義。
四、實戰(zhàn)案例,數(shù)據(jù)見證實力
為了讓大家更直觀地了解耶拿方案的實際效果,我們來看一下具體的實戰(zhàn)案例。
multi N/C 3300 總碳分析儀
使用耶拿 multi N/C 3300 總碳分析儀搭配 HT1300 固體模塊以及 FPG 48 固體舟自動進(jìn)樣器的解決方案,技術(shù)人員對一批石英砂粉狀固體樣樣品進(jìn)行碳含量測試。
表 4-1 方法參數(shù)
在一次檢測中,得到的相關(guān)系數(shù)高達(dá) 0.99992,這表明標(biāo)準(zhǔn)曲線的線性關(guān)系極佳,為后續(xù)的測試提供了可靠的基礎(chǔ)。
圖 4-1 石英砂中碳含量校準(zhǔn)曲線
測試結(jié)果如下:
表 4-2 高純石英砂樣品碳測試結(jié)果
圖 4-2 高純石英砂樣品中碳含量測試過程譜圖
multi EA4000 元素分析儀
再看另一個使用耶拿 multi EA4000 元素分析儀的案例。采用耶拿 multi EA4000 元素分析儀搭配 FPG 48 固體舟自動進(jìn)樣器的方案。
表 4-3 方法參數(shù)
在測試過程中,同樣以碳酸鈣為標(biāo)樣繪制標(biāo)準(zhǔn)曲線,相關(guān)系數(shù)達(dá)到 0.99947 ,線性良好。
圖 4-3 石英砂中碳含量校準(zhǔn)曲線
測試結(jié)果如下:
表 4-4 高純石英砂樣品碳測試結(jié)果
圖 4-4 高純石英砂樣品中碳含量測試過程譜圖
通過這兩個實戰(zhàn)案例可以清晰地看到,耶拿的碳含量測試解決方案在實際應(yīng)用中表現(xiàn)卓越,能夠為企業(yè)和檢測機(jī)構(gòu)提供精準(zhǔn)、可靠的數(shù)據(jù)支持,助力半導(dǎo)體及光伏行業(yè)在原材料質(zhì)量把控上做到精益求精。
五、適用之廣,行業(yè)信賴之選
德國耶拿的碳含量測試解決方案,猶如一把萬能鑰匙,在眾多領(lǐng)域都展現(xiàn)出了強(qiáng)大的適用性和可靠性,贏得了行業(yè)的廣泛信賴。
在海關(guān)實驗室(進(jìn)口石英砂),石英砂生產(chǎn)企業(yè),石英坩堝生產(chǎn)企業(yè),單晶硅生產(chǎn)企業(yè)中,高純石英砂的碳含量的控制至關(guān)重要。耶拿的解決方案能夠幫助企業(yè)精準(zhǔn)檢測碳含量。
德國耶拿的碳含量檢測解決方案,為半導(dǎo)體及光伏行業(yè)的發(fā)展提供了堅實的技術(shù)支撐。通過精準(zhǔn)檢測高純石英砂中的碳含量,企業(yè)能夠更好地控制產(chǎn)品質(zhì)量,提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本,從而在激烈的市場競爭中占據(jù)優(yōu)勢。
展望未來,隨著半導(dǎo)體和光伏行業(yè)的持續(xù)發(fā)展,對高純石英砂的質(zhì)量要求將越來越高。耶拿也將不斷創(chuàng)新和優(yōu)化其測試解決方案,以滿足行業(yè)日益增長的需求。相信在耶拿等優(yōu)秀企業(yè)的共同努力下,半導(dǎo)體及光伏行業(yè)將迎來更加輝煌的明天,為推動全球科技進(jìn)步和能源轉(zhuǎn)型做出更大的貢獻(xiàn)。